海德漢光柵尺LIDA473C

Specifications: LIDA 473C 窗體頂端 增量式

Measuring procedures 測量標準

熱膨脹系數                        玻璃： αtherm ≈ 8 x 10-6K-1

                                                 Robox玻璃陶瓷： αtherm ≈ 0 x 10-6K-1

                                                 Zerodur玻璃陶瓷： αtherm ≈ (0 ± 0.1) x 10-6K-1

精度等級                            ± 5 μm

測量長度（ML），     mm

參考點                                  距離編碼

增量信號                             TTL

柵距                                        20 μm

插補                                        5倍

信號周期                              4μm

掃描頻率                            ≤ 50 kHz

邊緣間距  a                        ≥ 0,98 μs

最高運動速度                   60 m/min

限位開關                              L1/L2帶兩個不同磁鐵；輸出信號： TTL

電源                                         5V ±5%/< 200 mA

電氣連接                               3 m電纜，帶D-sub接頭（15針） 接口電子設備內置在接頭中

最大電纜長度                     20 m

振動                                          55至2000 Hz ≤ 200 m/s2 (IEC 60068-2-6)

沖擊                                          （11 ms） ≤ 500 m/s2 (IEC 60068-2-27)

工作溫度                                0至 50 °C

重量 掃描頭：20 g（無連接電纜） 接口電子設備： 140 g 光柵尺：約+0.1 g/mm測量長度 編碼器電纜： 22 g/m窗體底端